半導體/電子行業(yè)超純水

半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等電子行業(yè)領域需用大量的純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，芯片上的組件或連接組件間的配線線徑越細，對水質(zhì)的要求也越高（一般要求超純水電阻率18.2MΩ.cm(25℃)、TOC＜5ppb、細菌內(nèi)毒素＜0.03EU/ml）。超純水水質(zhì)已成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)成品率及生產(chǎn)成本的重要因素之一。

超純水水質(zhì)對電子/半導體行業(yè)產(chǎn)品品質(zhì)的影響

        在電解電容器生產(chǎn)中，鋁箔及工作件的清洗需用超純水，如水中含有氯離子，電容器就會漏電。在電子管生產(chǎn)中，電子管陰極涂敷碳酸鹽，如其中混入雜質(zhì)，就會影響電子的發(fā)射，進而影響電子管的放大性能及壽命，因此其配液要使用超純水。在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中，其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì)，是鋅或其他金屬的硫化物組成的熒光粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成，其配制需用超純水，如超純水中含銅在8ppb以上，就會引起發(fā)光變色；含鐵在 50ppb以上就會使發(fā)光變色、變暗、閃光跳躍；含有機物膠體、微粒、細菌等，就會降低熒光層強度及其與玻殼的粘附力，并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。在黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)的 12個工序中，玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5 個工序需使用超純水，每生產(chǎn)一個顯像管需用超純水80kg。液晶顯示器的屏面需用超純水清洗和用超純水配液，如超純水中存在著金屬離子、微生物、微粒等雜質(zhì)，就會使液晶顯示電路發(fā)生故障，影響液晶屏質(zhì)量，導致廢、次品。顯像管、液晶顯示器生產(chǎn)對超純水水質(zhì)的要求見附表1。

        在晶體管、集成電路生產(chǎn)中，超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，硅片氧化的水汽源，部分設備的冷卻水，配制電鍍液等。集成電路生產(chǎn)過程中的80%的工序需要使用超純水清洗硅片，水質(zhì)的好壞與集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關系很大。水中的堿金屬（K、Na等）會使絕緣膜耐壓不良，重金屬（Au、Ag、Cu等）會使PN結耐壓降低，Ⅲ族元素（B、Al、Ga等）會使N型半導體特性惡化，Ⅴ族元素（P、As、Sb等）會使P型半導體特性惡化，水中細菌高溫碳化后的磷（約占灰分的20-50%）會使P型硅片上的局部區(qū)域變?yōu)镹型硅而導致器件性能變壞，水中的顆粒（包括細菌）如吸附在硅片表面，就會引起電路短路或特性變差。集成電路生產(chǎn)對超純水水質(zhì)的要求見附表2。

太平瑪半導體/電子行業(yè)超純水系統(tǒng)工藝流程

       根據(jù)客戶需求，半導體/電子行業(yè)超純水系統(tǒng)可采用以下兩種制水工藝流程，兩種流程產(chǎn)水水質(zhì)均可滿足半導體/電子行業(yè)超純水水質(zhì)標準。

       制水工藝流程1（傳統(tǒng)工藝）：反滲透與離子交換相組合的工藝方式，其基本流程為：原水→機械過濾器→活性炭過濾器→樹脂軟水器（或阻垢計量加藥系統(tǒng)）→精密過濾器→高壓泵→反滲透設備→純水箱→紫外滅菌儀→加壓泵→（復床）混床→精密過濾器→用水點。

       制水工藝流程2（***新工藝）：反滲透與電去離子（EDI）相組合的工藝方式，這是一種制取超純水的***新工藝，也是一種環(huán)保、經(jīng)濟、發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：：原?rarr;機械過濾器→活性炭過濾器→樹脂軟水器（或阻垢計量加藥系統(tǒng)）→精密過濾器→高壓泵→反滲透設備→純水箱→紫外滅菌儀→加壓泵→電去離子（EDI）→精密過濾器→用水點。

太平瑪半導體/電子行業(yè)超純水系統(tǒng)特點

• 水箱缺水自動制水、滿水自動停機、定時自維護沖洗、低壓/高壓報警等全自動功能。
• 全手動功能，可手動開啟各個電磁閥和水泵，供應急或清洗消毒時使用。
• 軟件計算系統(tǒng)***佳工作參數(shù)，壓力、流量、脫鹽率等。
• 反滲透膜、混床樹脂、EDI模塊等核心部件均為進口優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
• PLC全自動控制系統(tǒng)，系統(tǒng)狀態(tài)指示燈指示系統(tǒng)工作狀態(tài)。
• 在線水質(zhì)檢測控制儀表，隨時檢測水質(zhì)。
• 電子超純水專用CPVC管道，溶出物超低，絕少泄漏。
• 可按客戶需求設計超純水輸送管道系統(tǒng)為無死角循環(huán)系統(tǒng)，充分保證產(chǎn)水水質(zhì)。
• CIP就地清洗消毒接口，方便設備清洗消毒維護。